高温MEMS流量传感器

180 °C下稳定工作

可在高达180 °C的环境下保持阻值与塞贝克系数稳定，填补了高温流量传感可靠性的空白。

Kang, Qiaoqiao · Yuzhe, Lin · 陶继方

IEEE Sensors Journal 2024

技术优势

存储寿命试验温度：120 °C、150 °C、180 °C

180 °C高温下阻值变化小

塞贝克系数随温度升高而降低