ScAlN压电MEMS扬声器

单片频率叠加高SPL

采用六梁单片结构与用户定义边界设计,在紧凑尺寸下通过频率叠加与分区域驱动提升输出声压,低失真,兼具工艺简便可批量制造优势。

余洪斌

Sensors and Actuators, A: Physical 2025

参数信息

有效工作面积仅
5.85 mm²
驱动下
65 Hz
驱动下
5.6 kHz
驱动下
1 kHz