混合波导放大器

短距离高增益

以Si3N4为芯、Li+掺杂Er/Yb硅酸盐为包层，2 mm内实现高净增益，避免传统离子注入工艺，制造更简便。

Shang, Huabao · Daoyuan, Chen · Zhao, Tong · 杨德仁 · 邱建荣 · 李东升

Laser and Photonics Reviews 2025

参数信息

内部增益系数

6.15 dB/mm

净增益

9 dB

插入损耗

3.3 dB

增益带宽

1500–1600 nm

技术优势

短距离内增益高

2 mm长度即实现9 dB净增益，内部增益系数6.15 dB/mm，显著优于现有硅基掺铒平面波导。

增益带宽覆盖通信窗口

增益带宽覆盖1500–1600 nm的第三通信窗口，可直接用于光通信放大。

无需离子注入

制造仅涉及光刻和薄膜沉积，避免了离子注入带来的损伤和复杂性。

应用场景

• 片上光放大：2 mm内实现高增益，可直接补偿片上光路损耗。
• 光子集成：工艺无需离子注入，与CMOS兼容，适合光子集成。
• 光通信：增益带宽覆盖1500–1600 nm通信窗口，可用作光放大器。