低介电液体超高灵敏
采用三维梳状电容结构，将电场限制在凹槽内，大幅提升液体加载时的电容变化，无需液体容器，成本低。
Jia-Hao, Pan · Wu, Wenjing · Qi Qiang, Liu · 赵文生 · 王大伟 · 胡小平 · 刘俊 · 孙玲玲
IEEE Sensors Journal 2024
三维梳状结构将被测液体相关的电容占总电容的比例大幅提高，导致液体加载时电容变化量远大于平面结构，因此谐振频率偏移显著，能分辨低介电常数液体的微小差异。
传感器通过三维梳状电容结构将电场限制在凹槽内，液体可直接滴加在结构上，无需微流控通道或PDMS等容器，简化了测试流程，降低了成本。
传感器采用标准印刷电路板工艺即可制造，且不需要额外的液体容器或特殊基底，因此制造成本相对较低，适合批量生产。