超薄硅纳米线阵列

高灵敏快响应

基于高密度超薄硅纳米线的场效应传感器实现了室温下对氨气的高灵敏、快速、选择性检测,且工艺可规模化。

Chunsheng, Yang · Wei, Liao · 王军转 · Yu, Linwei

ACS Sensors 2024

技术优势

对25 ppm NH₃响应达96.9%

对2.5 ppm NH₃响应达38.6%

5%响应时间7.9 s

开关比>10⁷