MEMS谐振力传感器

皮牛级超高分辨

首次在亚纳牛级力测量中实现0.1%的校准相对误差,使传感器可直接用于纳米材料力学性能的精确表征。

Song, Jiahao · Yanlong, Zheng · Yang, Qiqi · Zhiquan, Zhang · 赵剑 · Qi, Yonghong · Zhao, Minghui · Xueyong, Wei

Measurement: Journal of the International Measurement Confederation 2025

参数信息

分辨率
20.13 pN
噪声密度
4.9 pN/Hz1/2
动态范围
120 dB
校准相对误差
0.1 %

技术优势

分辨率达皮牛级

传感器分辨率高达20.13 pN,能够分辨极微小的力变化,适用于纳米尺度相互作用力的测量。

噪声低至4.9 pN/Hz1/2

在1 Hz处噪声密度仅4.9 pN/Hz1/2,确保测量信号的高信噪比,提高数据可靠性。

校准精度高

采用静电补偿校准技术,相对误差低至0.1%,解决了亚纳牛级力传感器难以精确校准的问题。

动态范围宽

动态范围达到120 dB,在一个传感器上同时覆盖极小和较大的力测量范围,减少多传感器切换需求。

应用场景