6.4 nm 定位精度
宏微双台协同与阿贝原则计量系统实现大行程高精度三维测量，专为跨尺度微纳制造检测设计。
Zhang, Zuyang · 黄强先 · Huijie, Liu · 李红莉 · 程荣俊 · 张连生 · 李瑞君
IEEE Transactions on Instrumentation and Measurement 2025
三轴激光干涉仪和角度测量系统独立于运动系统，工作台空间坐标和姿态实时测量，避免了传统结构中运动系统误差对测量结果的直接影响。
压电陶瓷驱动的六自由度微动台可实现每轴超过20 μm的直线位移和超过27″的角位移，分辨率分别优于0.56 nm和0.09″，为工作台提供精密驱动和姿态调整。
通过宏微协同定位与二次触发策略，三维方向定位精度优于6.4 nm，测头重复性优于20 nm (k=1)，为高精度测量提供核心保证。