曲率匹配沉积薄膜

自适应激光烧结

薄膜厚度按激光强度分布设计，消除高斯光束导致的烧蚀与孔隙，无需光束整形器。

Chen, Xiangyu · Zhang, Mengsen · 朱剑琴 · 陶智 · 邱璐

Nature Communications 2026

参数信息

电导提升倍数

3.8 ×

透光率提升

5.1 %

电导率提升

160 %

技术优势

无需光束整形器

直接对薄膜厚度分布进行设计，避免了光束整形器的高成本和能量损失。

提升电导率

曲率匹配薄膜在ITO上实现电导提升3.8倍，在铜电路上电导率提升160%。

透明导电膜透光率略增

曲率匹配沉积的ITO薄膜透光率提高5.1%，优于平面电路。

应用场景

• 共形电子：为弯曲表面上的电子器件实现高性能共形电路制造。
• 3D打印电路：通过喷墨打印按需编程厚度分布，直接打印高性能3D电路。
• 柔性传感器：为柔性传感器制备共形电极，避免激光烧结损伤。
• 透明导电膜：在ITO导电玻璃上同时提升电导和透光率，优化透明电极性能。