色散调控激光微结构

透射率提升5.8倍

利用色散工程飞秒激光一步加工，无需任何后处理，在芯片级铌酸锂上制备无裂纹太赫兹微结构，解决了毫米级功能结构工业制造难题。

Zhou, Xu · Lu, Yao · Liu, Haibo · Wu Q. · Xu, Xitan · Lu, Chen · Li, Zhixuan · Rui, Wang · Jin, Guo · 许京军

Materials Today Physics 2023

具体参数

太赫兹透射率提升

约5.8 倍

技术优势

一步制备无裂纹芯片级铌酸锂太赫兹微结构