等离子体压力传感器

超高灵敏度

一种超紧凑的压力传感器，灵敏度约10.2 nm/MPa，并通过数值模拟建立了光学响应与施加压力的定量关系。

陈朝 · Xinxin, Ma · Shijie, Zhang · Tong, Li · 王毅琳 · 侯志灵

IEEE Sensors Journal 2024

具体参数

灵敏度

约10.2 nm/MPa

技术优势

超紧凑结构