高温寿命稳定
通过室温晶圆直接键合和预退火处理，实现比商用产品更高的压阻压力传感器稳定性
Song, Bin · Li, Fanliang · 朱福龙 · 刘胜
Sensors and Actuators, A: Physical 2023
在“压力与高温工作寿命测试”中，稳定性显著高于商用产品，使其在高温高压环境下更可靠。
低温退火后，传感器中不同材料层之间的界面在原子尺度上均匀，减少了潜在失效点。
通过高温退火降低传感器中的水含量，有助于提高稳定性，避免水汽导致的性能漂移。