无图案介质晶圆

痕量指纹检测

该介质晶圆利用等间隔均匀强度的多重法布里-珀罗模式，在太赫兹波段实现分子指纹的共振增强，无需复杂图案化工艺即可用于超宽带痕量检测。

Niu, Qiang · Jiarui, Hu · Han, Hao · Zhao, Rong · 张谷令 · 朱锦锋 · 杨玉平

Laser and Photonics Reviews 2026

具体参数

检测限

0.11 µg mm⁻²

技术优势

不用做图案

用无图案介质晶圆自身激发的多重法布里-珀罗模式做共振增强，省去光刻和复杂微纳加工，直接当增强基底用。

检测限低到 0.11

对 L-酪氨酸的定量检测限为 0.11 µg mm⁻²，达到痕量水平，且定量能力是首次实验实现。

免去繁琐后处理

结合小波去噪算法直接从透射模式中识别分子吸收特征，省去传统方法里繁重的数据后处理和冗余测试步骤。

应用场景

• 太赫兹光谱仪：直接用作增强基底，省去图案化，提升宽带痕量检测能力。
• 分子指纹识别：在太赫兹波段共振增强分子指纹，实现定性定量识别。
• 生化传感：对痕量生化分子（如 L-酪氨酸）做低至 0.11 µg mm⁻² 的检测。
• 生物传感器：无图案基底可集成到生物传感器中，用于痕量分子传感。