皮秒激光微孔

入射角调孔倾角

通过调整激光入射角控制微孔倾角，同时获得更光滑的孔壁质量。

Gu, Zehui · He, Yuyang · Ji, Jinqing Hu · 符永宏

Optics and Laser Technology 2025

技术优势

倾角可控

入射角增加时，微孔倾角呈近似线性下降，因此可通过调节入射角来主动控制孔的角度。

孔壁更光滑

大入射角加工可降低孔壁粗糙度，改善表面质量。

烧蚀深度可控

烧蚀深度随入射角呈对数下降，可通过选择入射角来调控加工深度。

应用场景

• 超快激光微加工：提供入射角调控孔倾角的方法，用于超快激光精密加工微孔。
• 微孔加工：实现微孔倾角与深度的可控加工，并改善孔壁质量。
• 精密仪器制造：用于精密仪器中微孔结构的定制加工，满足倾斜孔需求。