EHD打印太赫兹超材料

3 μm线宽稳定打印

用平滑双极波形驱动电液动力学按需打印,在介质表面直接增材制造太赫兹超材料,突破绝缘基底电荷积累带来的大面积稳定打印难题。

Gong, Hongxiao · 黄进 · 王建军 · 赵鹏兵 · Liang, Chaoyu · Dongqiao, Bai · Ruibo, Li

ACS Applied Materials & Interfaces 2024

参数信息

打印液滴直径
1.37 μm
打印线宽
3 μm

技术优势

免去光刻蚀刻

用增材制造方式在介质表面直接打印太赫兹超材料,避免传统工艺的高成本和长周期。

电荷不积了

平滑双极波形让相邻液滴电荷正负中和,消除绝缘基底上的电荷积累,打印更稳定。

线宽到3 μm

优化参数后打印出3 μm宽直线和1.37 μm液滴,分辨率达微米级,适合微纳加工。

打印即所得

打印的太赫兹超材料表面器件性能与仿真结果高度吻合,证明工艺可靠性。

应用场景