TiN/Ti(C,N)/Al₂O₃复合陶瓷膜

高温绝缘退化机制清晰

揭示了复合陶瓷薄膜在高温下因TiO₂形成与扩散导致绝缘失效的机理。

Huang, Yunwei · Zixin, Huang · Li, Xin · Ji, Yaqiang · 杨振 · Yin, Tao · 龙建宇 · 李川

Ceramics International 2025

技术优势

失效机制已明确

首次把高温绝缘失效归因于TiN/Ti(C,N)氧化生成导电TiO₂并向Al₂O₃表面扩散导致短路,而非单纯的介质击穿。

寿命可以预测

电阻衰减遵循指数函数,与能带理论和统计物理吻合,可通过高温下的电阻-时间曲线外推绝缘寿命。

脱落原因已掌握

热循环应力叠加基底与薄膜、Al₂O₃与TiO₂的热膨胀失配,是复合膜剥离的主因,为设计抗剥离涂层指明方向。

应用场景