TiZrV-Pd涂层

SEY降至0.98

在聚酰亚胺表面制备的TiZrV-Pd涂层，通过特定元素掺杂将最大SEY从1.72降至0.98，显著抑制二次电子发射。

Xin, Qi · Nie, Xiangyu · Di, Wu · 彭卫平 · 胡国明 · 马彦昭

Vacuum 2025

参数信息

最大二次电子发射产额

0.98

技术优势

二次电子发射显著降低

500 nm TiZrV-Pd-Medium涂层使聚酰亚胺的最大SEY从1.72降至0.98，降幅达43%。

掺杂浓度可调

通过改变Cu、Ag、Pd等掺杂元素的浓度，可以调节SEY的变化趋势，为不同应用场景提供灵活性。

应用场景

• 航天器表面材料：用低SEY涂层替代裸PI，避免表面充电
• 真空电子器件：抑制二次电子倍增，维持器件真空稳定
• 粒子加速器：减少电子云效应，提升束流稳定性
• 高功率微波组件：降低二次电子发射，防止介质窗击穿