机械灵敏度187 nm/Pa
采用放大背腔结构显著增强石墨烯薄膜的变形灵敏度，实现超灵敏声学检测。
Liu, Yang · 李成 · Li, Buxuan · Lu, Shanshan · 樊尚春 · Shuxuan, Dong · Wan, Zhen
ACS Applied Materials & Interfaces 2023
在0.5-18 kHz范围内，频率响应比无EBC的传统传感器提高5.73-79.33倍，最大灵敏度达187.32 nm/Pa@16 kHz。
仅通过改变背腔结构尺寸即可显著提升灵敏度，避免更换石墨烯薄膜或开发新型材料带来的额外成本。
在整个0.5-18 kHz测试频带内均获得高信噪比（60-75 dB），适合语音识别等宽带声学应用。