高度稳定省料节能
通过电弧电压传感和双控制方法提高沉积高度稳定性，从而减少材料浪费和能耗。
Diao, Zhaowei · 杨飞 · Chen, Lin · 王睿 · Zhang, Yang · Sun, Jinru · 吴益飞 · 荣命哲
Journal of Cleaner Production 2023