SiC微槽加工

皮秒激光可加工

本研究展示了皮秒激光加工SiCf/SiC陶瓷基复合材料微槽的微观组织演变和烧蚀机理，为激光辅助加工该材料提供理论与工艺基础。

Cheng, Zhang · Li, Han · 陈杰 · 安庆龙 · 陈铭

Ceramics International 2023

参数信息

最佳重复频率

200 kHz

技术优势

激光可加工

SiCf/SiC陶瓷基复合材料脆性高、各向异性，激光辅助加工能改善其可加工性。

参数可调

通过调节激光参数，可以控制微槽深度，从而在微槽上获得再结晶SiC层。

应用场景

• 航空发动机部件：用于航空发动机热端部件的表面微加工。
• 陶瓷基复合材料加工：改善高脆性、各向异性陶瓷基复合材料的可加工性。
• 激光微加工：利用皮秒激光在微槽加工中实现参数可控的烧蚀。