中真空紫外辅助金刚石抛光

去除率超7μm/h

一种利用紫外光和氧自由基协同作用,通过金刚石表面石墨化实现高效无损伤去除的金刚石抛光技术。

肖峻峰

Tribology International 2025

参数信息

材料去除率
7.0 μm/h

技术优势

无损伤加工特性经拉曼光谱和透射电镜证实