中真空紫外辅助金刚石抛光

去除率超7μm/h

一种利用紫外光和氧自由基协同作用，通过金刚石表面石墨化实现高效无损伤去除的金刚石抛光技术。

Liu, Nian · Haoran, Wang · Ling, Lei · Huilong, Jiang · Zhang, Yongjie · 肖峻峰 · 张建国 · 陈肖 · 许剑锋

Tribology International 2025

参数信息

材料去除率

7.0 μm/h

技术优势

无损伤加工特性经拉曼光谱和透射电镜证实