InAs/GaSb Ⅱ型超晶格

钝化恢复均匀性

这种超晶格通过SiO₂钝化工艺显著恢复红外焦平面器件的响应均匀性，直接改善成像质量。

Zhangyong, Shi · Dingyu, Yan · Zhang, Yanchao · Zhang, Fan · Yimin, Chen · 顾辰杰 · 陈熙仁 · Jun, Shao · Wang, Shumin · 沈祥

Journal of Alloys and Compounds 2023

具体参数

材料特性变化占非均匀性

29 %

工艺波动占非均匀性

71 %

技术优势

刻蚀后积分强度非均匀性比刻蚀前增加2.44倍

钝化后非均匀性恢复到刻蚀前水平