Y-Cr-Ti共掺杂氧化铝绝缘涂层

缺陷减78.7%，击穿电压增4%

通过多元协同改性，在保持高硬度和体积电阻率的同时，显著提升α-Al2O3相含量、降低缺陷率并增强结合强度。

王蕾 · Shuaishuai, Li · 张泽琳 · Guo, Yuyao · 曹建华 · 夏绪辉

Ceramics International 2026

参数信息

共掺杂后缺陷率（含孔隙率）比纯Al2O3涂层降低78.7%，归因于低熔点TiO2填充孔隙及Y2O3细化组织并抑制微裂纹。

α-Al2O3相含量提高1.82–2.33倍，多元组分协同促进了刚玉相的形成。

结合强度比纯Al2O3涂层提升23.6%。

硬度达到纯Al2O3涂层的98%，体积电阻率达到84%，击穿电压还提升4%。