回水辅助皮秒激光微孔

锥度1.476°

采用回水辅助皮秒激光二次修复，显著降低微孔锥度并提升出口圆度。

Tao, Wei · 孙树峰 · 张丰云 · Xi, Wang · Wang, Pingping · Xunhuan, Liu · Qinyang, Wang

Optics and Laser Technology 2024

参数信息

微孔锥度

1.476 °

微孔出口圆度

0.924 %

锥度降低值

0.636 °

技术优势

锥度大幅降低

回水辅助使锥度比空气中加工降低0.636°，归因于水环境降低了偏振光反射率差异。

出口圆度提高

在最佳组合下，微孔出口圆度达到0.924%，使出口形状更接近理想圆。

材料去除率提升

等离子体和蒸汽放电能力的增强是材料去除率提升的关键，回水辅助进一步增加去除率。

孔壁质量改善

回水辅助减少孔壁缺陷并改善周期性条纹，从而提高孔壁质量。

应用场景

• 微细加工：用于制造高精度微孔，提升微细加工质量。
• 激光钻孔：优化皮秒激光钻孔工艺，降低锥度并改善孔壁。
• 精密制造：提供微孔精密制造的参考，满足高精度要求。
• 光学加工：利用水的折射率影响光学加工效果，适用于光学元件微孔。
• 微孔加工：实现高质量微孔加工，降低锥度并提升圆度。