高均匀二维超导
通过双前驱体策略在晶格匹配蓝宝石上外延,实现高均匀性、单晶性的晶圆级二维超导薄膜。
王振禄 · Shi, Liu · Chen, Xin · Jing, Zhang · Zhu, Zheng · Li, Mengjiao · Kiš, András · 章蕾 · 张建华
Nature Communications 2025
双前驱体策略驱动自模板共外延,在晶格匹配的蓝宝石上生长出2H相单晶薄膜,多种表征手段证实其单晶性。
基于NbS2薄膜制备的器件超导转变温度3 K,良率达95.1%,电阻变化仅12%,表明薄膜均匀性极高。
同一MOCVD方法还实现了NbSe2晶圆级超导薄膜的生长,转变温度5 K,证明了方法的通用性。