晶圆级2D超导单晶

高均匀二维超导

通过双前驱体策略在晶格匹配蓝宝石上外延,实现高均匀性、单晶性的晶圆级二维超导薄膜。

王振禄 · Shi, Liu · Chen, Xin · Jing, Zhang · Zhu, Zheng · Li, Mengjiao · Kiš, András · 章蕾 · 张建华

Nature Communications 2025

参数信息

超导转变温度 (NbS2)
3 K
器件良率
95.1 %
电阻变化
12 %
超导转变温度 (NbSe2)
5 K

技术优势

晶圆级单晶

双前驱体策略驱动自模板共外延,在晶格匹配的蓝宝石上生长出2H相单晶薄膜,多种表征手段证实其单晶性。

器件良率高

基于NbS2薄膜制备的器件超导转变温度3 K,良率达95.1%,电阻变化仅12%,表明薄膜均匀性极高。

多种超导材料可扩展

同一MOCVD方法还实现了NbSe2晶圆级超导薄膜的生长,转变温度5 K,证明了方法的通用性。

应用场景