电容压电电子异质界面
应变灵敏度远超商用传感器
利用压电极化可逆调控异质结界面宽度,实现交变电容式机械-电信号转换,而非传统直流势垒高度调制。
Zhang, Zhuangzhuang · He, Yixuan · 翟俊宜 · 胡卫国 · Chen, Libo · 王隆飞 · 刘书海 · 王中林 · ORecord 科技单元
Nature Communications 2026
参数信息
- 界面宽度可逆调幅高
- 10.5 nm
- 应变灵敏度
- > 110 fF/mbar
- 机械调谐通信系统传输信号幅度
- > 11 kHz
- 对高频噪声
- > 300 kHz
应用场景
- MEMS压力传感器:以超高灵敏度替代传统电容式压力敏感结构。
- 高灵敏度触觉感知:实现微弱触觉信号的直接电容读出。
- 柔性电子皮肤:提供可弯曲的高灵敏应变感知单元。
- 可穿戴健康监测:以高灵敏度检测微弱生理压力信号。