XYθ压电微载物台

多模式高放大比

通过可重构压电致动器布局提供多种驱动模式,实现低耦合、高精度三自由度微纳操作。

Wu, Gaohua · 李国平 · 杨依领 · 魏燕定

Microsystem Technologies 2024

参数信息

x轴放大比
8.40
y轴放大比
8.52
x轴位移耦合比
0.83 %
y轴位移耦合比
0.94 %
最大转角
2379.18 μrad

技术优势

高放大比

改进的四杆放大机构使x轴放大比达8.40,y轴达8.52,有效增大压电致动器的位移输出。

低寄生运动

平行四边形导向机构将x轴和y轴位移耦合比分别限制在0.83%和0.94%,显著降低非期望方向的运动。

多种驱动模式

通过可重构的压电致动器装配位置,该平台可提供纯平移、纯旋转等多种驱动模式,适应不同操作需求。

应用场景