多模式高放大比
通过可重构压电致动器布局提供多种驱动模式,实现低耦合、高精度三自由度微纳操作。
Wu, Gaohua · 李国平 · 杨依领 · 魏燕定
Microsystem Technologies 2024
改进的四杆放大机构使x轴放大比达8.40,y轴达8.52,有效增大压电致动器的位移输出。
平行四边形导向机构将x轴和y轴位移耦合比分别限制在0.83%和0.94%,显著降低非期望方向的运动。
通过可重构的压电致动器装配位置,该平台可提供纯平移、纯旋转等多种驱动模式,适应不同操作需求。