超精密成形砂轮

轮廓误差补偿

用于脆性材料微透镜阵列的超精密磨削，单次补偿即可大幅降低轮廓误差，实现高一致性加工。

Lingwen, Tan · 张友栋 · Hao, Wu · Yi, Shu · Yuhu, Liu · Shaozhi, Zhang · 顾鹏 · 李铎 · 张鑫泉 · 任明俊 · 朱利民

Precision Engineering 2026

参数信息

轮廓误差 PV

62.3 nm

轮廓误差 RMS

11.2 nm

PV 误差降低幅度

82.5 %

RMS 误差降低幅度

88.9 %

微透镜平均表面粗糙度 Sa

5.01 nm

技术优势

单次补偿即可大幅降误差

通过同时补偿修整轮初始轮廓误差和差异化磨损引起的轮廓误差，一次补偿即可将砂轮轮廓误差 PV 降低 82.5%、RMS 降低 88.9%。

加工表面质量高

采用该修整方法处理的砂轮磨削出的微透镜，平均表面粗糙度 Sa 低于 5.01 nm，满足超精密磨削需求。

应用场景

• 微透镜阵列制造：用高精度砂轮直接磨削出微透镜阵列，替代光刻-刻蚀，提高一致性和效率。
• 超精密光学加工：为光学元件加工提供纳米级轮廓精度的磨削工具，满足光场成像等精密需求。
• 脆性材料微加工：在脆性材料上实现微米级结构的高精度磨削，避免裂纹和崩边。