利用谱域光学相干断层扫描(SD-OCT)实现对异质材料激光钻孔过程中界面状态和烧蚀深度的实时原位测量,为精确控制加工过程提供手段。
Tao, Sun · 赵万芹 · 凡正杰 · Jinge, He · 崔健磊 · 梅雪松
Journal of Laser Micro Nanoengineering 2025
利用SD-OCT可在钻孔过程中原位测量烧蚀深度,无需中断加工,从而支持闭环控制和均匀去除。
该方法能够检测异质材料中的界面位置及其厚度,为监测烧蚀是否到达目标层或避免损伤底层提供关键信息。
SD-OCT可与超快激光加工系统共轴集成,在加工的同时进行监测,无需额外的工序或样品移动。