十字形微谐振梁

品质因数105.8

谐振梁采用十字形结构与隔离带分离激励与检测端，消除了激励信号对输出信号的串扰，使电容检测结果更真实准确。

Han, Guang · Lizhong, Xu

Zhendong yu Chongji/Journal of Vibration and Shock 2023

参数信息

理论值与实测值相对误差（考虑分子力）
1.971 %

技术优势

消除激励串扰

激励端与检测端通过隔离带分离，输出电压信号不会与激励信号混合，使测量结果更真实准确。

应用场景