接触电阻显著降低
采用电极自分层和快速光子固化的新型制造工艺，实现低接触电阻的高性能金属氧化物晶体管。
Luo, Linqu · Faber, Hendrik · Liu, Chen · Doukas, S. · Yarali, Emre · Adilbekova, Begimai · Naphade, Dipti R. · Xiao, Na · Ma, Yinchang · Mazo-Mantilla, Harold F. · Lazaros, Panagiotidis · AlGhamdi, Wejdan S. · Florica, Camelia Florina · Nugraha, Mohamad Insan · Li, Xiaohang · Zhang, Xixiang · Heeney Martin · Lidorikis, Elefterios · Anthopoulos Thomas D
Advanced Functional Materials 2024
接触电阻显著降低
晶体管性能显著提升
制造工艺高度可扩展、稳健且适用于其他半导体材料