纳秒紫外SiC去除

原子级精度加工

纳秒紫外激光在常温常压下即可实现SiC的原子层剥离与表面改性，为超精密加工提供了一条可行路径。

Wang, Jinshi

Optics and Laser Technology 2023

参数信息

阈值能量密度

2.52 J/cm²

技术优势

近阈值能量密度下实现原子层剥离

化学组成改性随深度变化（氧含量改变）