480 °C退火优化晶体质量
该超晶格经480 °C慢退火优化后，晶体质量与表面平整度显著提升，可用于量子级联激光器二次外延波导层。
Shiya, Zhang · Zhu, Lianqing · Zhang, Dongliang · Xian-Tong, Zheng · Jintao, Cui · Ruixin, Gong · Shuhao, Du · 陈拓 · 李明宇
Vacuum 2024
研究确定了最优慢退火温度为480 °C，为该超晶格的后处理提供了具体指导。
通过AFM等表征确认了退火后表面光滑度得到改善，有利于后续外延生长。
AFM、XRD、XPS和PL等综合手段验证了退火效果，确保结果可靠。