净形轮廓精准捕获
利用结构光传感在沉积前后分别扫描表面形貌,融合条纹实现单个焊道剖面的精确提取,为倾斜厚壁结构的成形监测提供新手段。
张广军
Micromachines 2024
悬垂特征处重叠区宽度随层数增加而减小
悬垂特征处重叠区高度随层数增加而增大
重叠区高度随沉积电流增大而增大
重叠区高度随沉积速度增大而减小