双拱桥式压电致动器

高负载密度紧凑结构

双拱桥式驱动机构结合椭圆预紧机制，实现大负载密度、紧凑尺寸和高分辨率的直线运动。

Yuxi, Wu · 杨依领 · Wu, Gaohua · 崔玉国 · Yanding, Wei

IEEE Transactions on Automation Science and Engineering 2024

参数信息

最大速度

1.4 mm/s

技术优势

负载密度高

双拱桥式驱动机构放大夹持力，使致动器在 100 V 电压下负载密度达到 0.037 g/mm³。

结构紧凑

椭圆预紧机构采用紧凑型柔性铰链，整体尺寸仅为 33.6 mm × 20 mm × 8 mm。

应用场景

• 精密定位：22 nm 分辨率与紧凑尺寸适合集成到精密定位台，替代传统丝杠或音圈电机。
• 微纳操作：高负载密度允许在微纳操作中夹持更重的工具或样品，同时保持纳米级步进。
• 微装配：致动器可提供稳定的微推力，用于微装配中零件的精确拾放，速度比传统波形提升 33%。
• 微流控驱动：紧凑的压电驱动可集成到微流控芯片中，驱动阀门或泵，替代外部大型泵。