原子表面 高效去除
针对大尺寸非球面石英坩埚，复合稀土氧化物抛光液兼顾高去除率和原子级表面质量，且环境友好，解决了传统CMP依赖有毒浆料和难以加工非球面的问题。
樊成
Surfaces and Interfaces 2024