Pd/Ni薄膜SAW氢气传感器

温漂补偿后基线漂移降97.86%

针对SAW氢气传感器在复杂环境中因温度和湿度引起的响应漂移问题，提出一种原位温湿度补偿方法，使传感器在宽温湿度范围内保持高精度。

Zixuan, Ren · Cui, Baile · Cheng, Lina · Jing, Jin · Liang, Yong · 薛蓄峰 · 王文

IEEE Sensors Journal 2024

参数信息

基线漂移降低百分比

97.86 %

浓度预测误差（补偿后）

4.83 %

技术优势

温漂近乎清零

从系统整体角度建立的温湿度补偿方法，使温湿度引起的基线漂移降低97.86%。

浓度误差降五倍

补偿后氢气浓度预测误差从22.58%降至4.83%，读数更接近真值。

湿度免疫

片上微加热器降低了Pd/Ni膜对水分子的吸附，湿度干扰很小。

应用场景

• 氢气安全监测：在氢能站或加氢设施中，避免因环境温湿度变化导致的误报或漏报。
• 工业气体泄漏检测：在工业现场复杂环境下，保证氢气浓度读数准确可靠，减少安全隐患。
• 物联网环境感知：让氢气传感器在室外宽温湿度条件下稳定联网，数据不漂移。
• 可穿戴环境监测：低功耗微加热器适用于可穿戴设备，在人体周围温湿度变化下保持准确。
• 电池间氢气监控：在电池间温度变化和湿度波动中，避免氢气检测误报，提升储能系统安全性。