小电容利光子学
同心深槽同步刻蚀形成的半球形电极，赋予探测器低电容特性，尤其适合X射线等光子学应用。
Hongfei, Wang · 李正
Micromachines 2026
不同深度的同心圆槽可以通过DRIE同时刻蚀，简化了制造过程。
半球电极结构使探测器具有小电容，有利于高计数率应用。
仿真分析了辐照后的探测器性能，表明其具有抗辐照能力。