Al₂O₃陶瓷基片

金刚石绳锯易加工

在金刚石绳锯加工中,氧化铝陶瓷相比氮化铝、氧化锆和氮化硅展现出更优的可加工性,表面粗糙度较低,适合作为电子器件的陶瓷薄基片。

Jun-yong, Zeng · 张凤林 · Chuang-jie, Zheng · Li, Kaijiang · 周玉梅 · 伍尚华 · 鲁艳军

Journal of Manufacturing Processes 2024

参数信息

材料去除率
0.128 mm³/min
切向锯切力
0.0255 N
表面粗糙度
0.23 μm
表面粗糙度
0.62 μm

技术优势

韧性低反而好切

断裂韧性较低的 Al₂O₃ 和 AlN 比 ZrO₂、Si₃N₄ 具有更好的可加工性,表现为更高的材料去除率和更低的锯切力。

AlN 切得最快

在 1.3 m/s 线速度下,AlN 的材料去除率达 0.128 mm³/min,切向锯切力仅 0.0255 N,是所有材料中加工效率最高的。

表面质量易保证

虽然 Al₂O₃ 的表面粗糙度在四种陶瓷中最高(Ra 0.62 μm),但仍处于可接受范围,且锯切过程稳定。

金刚线磨损较轻

加工 Al₂O₃ 和 AlN 时,金刚石磨粒不易脱落或磨平,导线磨损比加工 ZrO₂ 和 Si₃N₄ 轻,有利于保持锯切能力。

应用场景