3D打印微半球壳谐振器

两步成型,空气高Q值

首个可3D打印的科里奥利振动陀螺仪微半球壳谐振器,摆脱MEMS微加工的多步复杂流程,兼具可调频与空气高品质因数。

朱业 · He, Chaofan · 王卫东 · 丁智 · 何闻 · 何勇 · 车录锋

Microsystems and Nanoengineering 2024

参数信息

制造步骤数

2

技术优势

步骤骤减

制造步骤从MEMS的十几步缩减为两步，大幅简化工艺、降低成本。

高Q值

在空气中品质因数高于典型MEMS微半球谐振器，有助于提高陀螺仪灵敏度。

频率可调

谐振频率可通过静电力调谐，便于匹配工作模式。

应用场景

• 惯性导航：用低成本快速制造的谐振器实现便携惯性导航。
• 陀螺仪：作为科里奥利振动陀螺仪的核心谐振器。
• MEMS器件：替代传统MEMS谐振器，简化制造流程。
• 3D打印微器件：展示3D打印在微机械高深宽比结构中的适用性。