飞秒激光熔融石英烧蚀

高效率低热损伤

通过优化子脉冲数目与间隔,在保持最小热损伤的同时提升加工效率。

He, Kun · 任云鹏 · 戴子杰 · Jingjing, Zhang · Tu, Xincheng · Cheng, Li · Xin, Zhiduo · Libin, Cai · Ye Y.

Optics Communications 2023

参数信息

子脉冲间隔
50 ns
子脉冲间隔
1 ps

技术优势

效率与损伤兼得

通过优化子脉冲数目与间隔,可同时获得最高加工效率和最小热损伤面积。

揭示脉冲串规律

发现子脉冲间隔50 ns时孵化效应随子脉冲数增加而减弱,而间隔1 ps时增强,为参数选择提供指导。

理论实验吻合

三维双温模型预测的烧蚀坑形状与实验一致,可用于工艺预测与优化。

应用场景