环保精刻替代化学蚀刻
一种水溶性聚合物辅助的水洗图案化工艺，可在柔性基底上实现30微米线宽，无需化学蚀刻且不损伤基底。
Peiyi, Guo · Ma, Lijun · Qianru, Ge · Shi, Jun · Li, Shuxin · 季书林
Advanced Materials Technologies 2024
用水溶性聚合物做保护层，多余银纳米线只需水洗即可去除，彻底避免了传统蚀刻的化学污染。
实现30 µm线宽、40 µm线间距，高于传统黄光/激光蚀刻约50 µm的分辨率极限。
基于水洗的去除过程对柔性基底无损伤，而激光刻蚀会不可避免地对基底造成破坏。