超宽线性范围
将超薄离子层与梯度微金字塔结构集成，实现宽压范围内的线性响应，兼顾高灵敏度与超高压力分辨率。
Yang, Ruoxi · Ankan, Dutta · Li, Bowen · Tiwari, Naveen · Zhang, Wanqing · Gao, Yuyan · Erdely, Daniel · Wang X. · 李铁军 · Cheng, Huanyu
Nature Communications 2023
梯度微金字塔结构使传感器在 1700 kPa 宽压力范围内保持线性响应，避免了常规微结构在大压力下的饱和。
超薄离子层与微金字塔结构协同作用，将灵敏度提升至 33.7 kPa⁻¹，优于多数已报道的电容式传感器。
传感器可检测到 0.36 Pa 的微小压力，适用于微弱生理信号如脉搏波的监测。
在 2000 kPa 预压下，压力分辨率高达 0.00725%，可为高负重场景提供精准测量。