Z轴抑制MEMS执行器

刚度提升68.5%

通过杆件连接点对抑制共模/差模运动，显著削弱面外位移而不牺牲行程与速度。

尤瑞

Microsystems and Nanoengineering 2025

具体参数

静态行程
{'zh': '60', 'en': '60'} μm
动态行程
{'zh': '400', 'en': '400'} μm
Z 轴刚度提升
{'zh': '68.5', 'en': '68.5'} %

技术优势

Z 轴串扰降下来了

通过点对连接抑制差模运动，面外位移被有效削弱，适用于高精度定位。

行程和速度不受影响

在显著提升 Z 轴抑制能力的同时，保持了 ±60 μm 静态和 ±400 μm 动态行程。

Z 轴刚度拉高 68.5%

Z 轴刚度提升幅度是 X/Y 轴的五倍以上，说明抑制结构专门强化了薄弱方向。

设计经过完整闭环验证

经历设计-仿真-制造-测试全流程，并与传统设计对比验证了有效性。

应用场景