纳米级分辨率
面向精密定位应用，采用常应力电磁驱动与柔顺机构结合，通过电磁-机械耦合模型精确预测行程与动态特性。
Wang, Xiangyuan · Meng, Yixuan · Huang, Weiwei · Li, Linlin · Zhu Z. · 朱利民
Mechanical Systems and Signal Processing 2023
建立电磁-机械耦合模型，在静态模型中直接建立了输入电流与输出位移的关系，并在动态模型中考虑了磁场产生的势能，从而能够准确预测工作行程和固有频率。
设计的 feedforward–feedback 控制器实现了 −3 dB 控制带宽达到开环固有频率的145%，显著提升了动态响应能力。
平台实现纳米级运动分辨率，对 ±50 μm 幅值、10 Hz 三角波跟踪的 RMS 误差仅为 0.45%，适用于精密运动任务。