蚀刻速率降19.6%
通过晶界工程将三维晶界网络转为二维平面构型并提高(001)取向占比,同时降低表面粗糙度,实现耐蚀性提升。
Chen, Jingqi · Sheng, Yang · Zhao, Wei · 白振华 · 李学通 · 张洪军 · Zhenyu, Niu · 白凤梅 · 国成 · Yu, Hai Liang
Journal of Alloys and Compounds 2025
晶界网络从三维转为二维平面构型,减少了腐蚀活性路径;<001>取向晶粒因原子密排度高而形成优先钝化层,使蚀刻速率降低19.6%。
异步轧制显著降低铜箔表面粗糙度,有利于高频信号传输和后续蚀刻均匀性。
腐蚀电流密度降低,电荷转移电阻增大,蚀刻速率下降,整体耐蚀性优于电沉积铜箔。