内电极微波等离子体炬

面形误差降至1/6.5

通过新型内电极结构提升放电稳定性，实现熔融石英表面的高精度修形加工。

Chuansheng, Wang · Bing, Wu · 杭偉 · Lu, Dong · 邓辉

Surfaces and Interfaces 2024

参数信息

内部电场强度提升

54 %

材料去除稳定性

3.69 %

面形误差

16.5 nm RMS

技术优势

电场强度提升54%

采用样条曲线内电极结构，增强内部电场，有利于稳定放电。

去除稳定性达3.69%

加工熔融石英时材料去除稳定性高，保证了加工精度的可控性。

面形误差降低6.5倍

平面熔融石英修形后，面形误差从108.1 nm RMS减小到16.5 nm RMS。

应用场景

• 超精密光学加工：提供高稳定性等离子体炬，实现熔融石英等光学元件的局部修形。
• 高损伤阈值光学元件：通过非接触式加工减少亚表面损伤，保持光学元件的高损伤阈值。
• 光学表面修形：面形误差从108.1 nm RMS降至16.5 nm RMS，验证了修形能力。
• 短波长光学制造：适合加工短波长光学元件所需的超光滑表面。