Ti-DLC薄膜

1550nm高灵敏

掺钛类金刚石薄膜用于硅基异质结近红外探测，常温下响应快、噪声低，为硅基光电集成提供新途径。

Pei, Li · Xinru, Zhang · Shi, Chen · 于乐泳 · 冯双龙

Diamond and Related Materials 2023

参数信息

探测率

1.16 × 10⁸ Jones

上升沿响应时间

5 ms

下降沿响应时间

3 ms

DLC厚度

90 nm

技术优势

探测率够高

在1550 nm处达到1.16 × 10⁸ Jones，能有效捕捉弱近红外信号。

响应够快

上升沿5 ms、下降沿3 ms，可跟踪快速变化的光信号。

工艺简单

磁控溅射共沉积即可在硅上成膜，无需高温或复杂后处理，便于集成。

应用场景

• 近红外探测器：用作1550 nm通信波段的光电探测器核心结构。
• 光电探测：将光信号转为电信号，用于光电探测场景。
• 碳基薄膜：以掺钛DLC薄膜为光敏层，替代传统半导体材料。
• 光学传感：借助快响应特性，实现对快速变化光信号的传感。