深聚焦激光改性

厘米级高分辨

利用松散聚焦皮秒激光脉冲,在熔融石英玻璃内部实现体积不变的改性,克服深聚焦时的纵向分辨率损失,可直接用于三维玻璃打印和流动化学。

程亚 · 张海粟 · 王鹏 · Qi, Jia · Xu, Jian · Li, Xin · 李文波 · Li, Xiaolong · Lin, Zijie · 陈进明 · 胡鸣 · 王敏

Springer Series in Optical Sciences 2023

技术优势

深度加工不失真

松散聚焦皮秒激光脉冲在不同深度产生一致的改性体积,克服了深聚焦通常导致的纵向分辨率损失。

裂纹方向可控

改性产生的纳米裂纹优先沿激光扫描方向排列,有利于后续蚀刻或分离形成高深宽比结构。

工艺集成门槛低

无需额外自适应光学或复杂光束整形,松散聚焦脉冲即可在常规透明基底上直接实现厘米级微加工。

应用场景