该抛光液以TiO₂为催化剂、H₂O₂为氧化剂，在紫外光下对单晶6H-SiC产生稳定的化学机械协同去除作用。
Zhang, Qixiang · 潘继生 · Zhuo, Zhijia · Min, Xiang · 阎秋生
Surfaces and Interfaces 2023