金刚石抛光设备

超低损伤亚纳米表面

一台将机械、化学与光场耦合的新设备，能对金刚石进行高效且损伤极低的抛光处理，实现原子级光滑表面。

郭晓光

Journal of Manufacturing Science and Engineering, Transactions of the ASME 2023

参数信息

损伤厚度仅

0.6 nm

技术优势

首次获得亚纳米级表面：Ra 0.071 nm, rms 0.090 nm, Rz 0.943 nm

每小时微去除率（具体值见原文）